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技术规格展示

参数玻璃晶圆片规格
材料玻璃、石英等
外径4”、6”、8”、12”等
外径公差+/-0.01mm
最小厚度0.2mm(<6”)、0.3mm(8”)、0.35mm(12”)
TTV<1μm
BOW<20μm
WARP<30μm
外观20-10
粗糙度Ra<0.2nm
倒边45°,C0.2+/-0.1mm
镀膜增透膜、反射膜、分光膜等

* 备注:可以根据客户需求定制

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